Fluorine-CryoRIE System

Informasjon

02 - Kunngjøring
Åpen anbudskonkurranse
18.11.2020 14.12 (GMT+01:00)
16.12.2020 23.59 (GMT+01:00)

Innkjøper

Kungliga Tekniska högskolan Kungliga Tekniska högskolan
Karin Edoff Karin Edoff
Brinellvägen 8
10044 Stockholm
Sverige
202100-3054

Dato for innlevering er passert

Kort beskrivelse

KTH and Albanova Nanolab intends to purchase a new RIE/ICP system (equipped with load-lock and cryo-stage) dedicated to fluorine based processing. The main use of the tool will be to reactively etch dielectrics, metals, and various superconductors, as well as low pressure argon milling of inert materials. The system should be able to perform high-quality anisotropic, deep silicon etching.

Filer (klikk på filnavn for å laste ned)

Tittel Størrelse
1-AllDocuments.pdf 732 KB
Samtliga+bifogade+dokument.zip 701 KB

Mercell Norge AS

Del av Mercell-gruppen, en av Europas ledende leverandører av elektroniske anbudsverktøy og informasjon mellom innkjøpere og leverandører i det profesjonelle markedet.

Kontakt oss

Klikk her for å gå til support

+47 21 01 88 05