Fluorine-CryoRIE System

Information

Upphandlingstyp

02 - Meddelande om upphandling

Förfarande

Öppet förfarande

Publiceringsdatum

2020-11-18 14:12 (GMT+01:00)

Anbudsfrist

2020-12-16 23:59 (GMT+01:00)

Inköpare

Upphandlande enhet

Kungliga Tekniska högskolan

Avdelning

Kontakt

Karin Edoff

Adress

Brinellvägen 8
10044 Stockholm
Sverige

Org.nr.

202100-3054

Hemsida

www.kth.se

Anbudsfristen har passerat.

Kort beskrivning

KTH and Albanova Nanolab intends to purchase a new RIE/ICP system (equipped with load-lock and cryo-stage) dedicated to fluorine based processing. The main use of the tool will be to reactively etch dielectrics, metals, and various superconductors, as well as low pressure argon milling of inert materials. The system should be able to perform high-quality anisotropic, deep silicon etching.

Dokument (klicka på filnamnet för att ladda ner)

Namn	Filstorlek
1-AllDocuments.pdf	732 KB
Samtliga+bifogade+dokument.zip	701 KB

Mercell Commerce

Del av Mercellgruppen, en av Europas ledande leverantörer av elektroniska upphandlings- och anbudssystem på den professionella marknaden.

Produkter

Upphandlingsbevakning
Upphandlingsverktyg
Marknadsbevakning
Kommande upphandlingar

Mercell

Om oss
Investor
Etiska riktlinjer
Samarbetspartner
Karriär
Nyheter

Kontakta oss

Klicka här för att gå till vår support

+46 13 39 00 32 0