Prosessutvikling for framstilling av tynne 3DPixel strålingssensorer

Hankinnan yleistiedot

13.7.2014 11.19 (GMT+03:00)

Hankintayksikkö

Universitetet i Oslo, Det matematisk naturvitenskapelige fakultet Universitetet i Oslo, Det matematisk naturvitenskapelige fakultet
Øivind Martinsen Øivind Martinsen
Postboks 1032 Blindern
NO-0317 Oslo
Norja
971035854

Hankintapäätös

PROSESSUTVIKLING FOR FRAMSTILLING AV TYNNE “3D PIXEL“ STRÅLINGSSENSORER

Enkeltsidig prosessering av 150 mm silisiumskiver (23 pcs) med egen “Deep Reactive Ion Etch (DRIE)“ fabrikasjonsteknologi

Totalbudsjett: 2 MNOK

Tidsramme: Oppstart 2014 tredje kvartal, 26 ukers gjennomløpstid

Fysisk leveranser: Ferdigprosesserte silisiumskiver sendes til CERN

Teknisk spesifikasjon:

Innkjøp av råmaterialer:

- Substratskiver: 300 um tykkelse, 150 mm diameter p-type høyresistivitet “float-zone“

- Støtteskiver: 300 um tykkelse, 150 mm diameter, mekanisk kvalitet

Konstruksjon og innkjøp av fotomasker, totalt 8 masker:

- N+ elektroder (DRIE and POLY)

- P+ elektroder (DRIE and POLY)

- Metall-lag for test

- Endelig metall-lag

Sensorfabrikasjon:

- P-spray implantering av substratskive

- Sammenbinding av substrat- og støtteskiver

- Nedtynning til 50, 100 um

- DRIE-fabrikasjon av 3D elektrodestrukturer, best mulig høyde/diameter-forhold

- Implantering av elektroder, fylling med polysilisium, separate steg for N+ og P+

- Kontaktåpninger, metall-lag og passivering

Kvalitetskontroll og testing:

- Evaluering av standard testdioder og sk. “process control monitors“

- Målinger med metall-lag for testing



Kontraktstildeling
Tittel: Prosessutvikling for framstilling av 3DPixel strålingssensorer
Dato for kontraktstildeling: 23-07-2014
Antall mottatte tilbud: 1
Kontaktpunkt for leverandøren som har blitt tildelt kontrakten:
SINTEF ICT, Postboks 124 Blindern, 0314 Oslo, NO.

Mercell Suomi Oy

Osa Mercell-ryhmää, Euroopan johtavaa hankintapalvelujen sekä sähköisen kilpailutusjärjestelman tuottajaa.

Yleistä hankinnoista

Hankintalaki
TED

Yhteydenotto

Klikkaa tästä asiakaspalveluun

+358 207 528 600