Nasjonalt cyberkrim senter skal anskaffe en FIB/SEM Dualbeam for materialanalyse og arbeid med halvledermateriale. Systemet skal ha en topp moderne elektron (SEM) og Ga ione (FIB) kolonne. SEM-kolonnen må ha integrerte SE- og BSE-detektorer, samt SE- og-BSE detektorer i kammeret. En EDS detektor for grunnstoffanalyse skal også være inkludert. FIB-kolonnen må ha en SE- og en sekundær ionedetektor.
Instrumentet må ha et system for enkle og blandete prosessgasser for både deponering, og selektiv fjerning, av materiale som er nødvendig for manipulering av moderne halvlederteknologi, inkludert fjerning av kobber og low-k dielektrikum.
Systemet må ha støtte for navigering på elektronisk kretser inkludert programvare for overlegg av GDS og mikroskopbilder, et kamera i kammeret for enkel navigering, samt et integrert IR-mikroskop for inspeksjon og navigasjon gjennom silisium.
Kontraktstildeling