I rent-rom områdene til Mikro- og Nanoteknologi laboratoriet ved Universitetet i Oslo, ønsker vi å utvide mulighetene for høykvalitets deponering av tynne filmer for forskning og utvikling.
For dette, et oppsett med 2-3 kammer med vakuum overføring til eksisterende systemer (ALD) og med mulighet til overføring bl.a. til ekstern røntgen spektroskopi.
Utvikling, design og produksjon av systemet vil bli tema i konkurransen.
Spesifikasjoner i tilbudsdokumenter.