2013-5411 Direct Write Laser lithography system

Hankinnan yleistiedot

Avoin menettely
7.5.2013 20.01 (GMT+03:00)
21.6.2013 15.00 (GMT+03:00)
14.6.2013 1.00 (GMT+03:00)

Hankintayksikkö

Universitetet i Oslo Universitetet i Oslo
Øivind Martinsen Øivind Martinsen
Postboks 1032 Blindern,
NO-0315OSLO Oslo
Norja

Määräaika on umpeutunut

Lyhyt kuvaus

Direkte skrift laser litografi (DWL) er en høy oppløselig laserbasert optisk litografi system. Det er en prosess med overføring av geometriske mønster til overflaten til halvledermaterialer. Overflaten er dekket av fotoresistent materiale som mottar lysenergien og generer en fotokjemisk reaksjon som danner mønster.

Kravspesifikasjon:

DWL laser skrive system for vitenskapelig formål, hovedsakelig for bruk med gruppe IV halvledere og halvleder oksyder.

-Mønster på substratet ned til 10x10 mm og opp til 125x125 mm

-Minimum maskestørrelse: 1 µm

-Laserbølgelengde i området 350 til 400 nm

-Substrat tykkelse opp til 2 mm

-Skrivehastighet, arealmessig: minimum 2 mm2/minutt

-Innstillingsnøyaktighet (3 sigma): 400 nm

-Elektrisk tilkobling: 240 V AC/1 fase / 50Hz

Merk: For å melde din interesse i denne kunngjøringen og motta tilleggsinformasjon vennligst besøk Doffin nettsiden http://www.doffin.no/Search/Search_Switch.aspx?ID=293784.

Hankinta-asiakirjat

Tiedosto Koko
2013-5411_Draft_ContractDirectWriteLaser_lithography_06.05.doc 81 KB
2013-5411_Tender_document_DirectWriteLaser_lithography_06.05.doc 288 KB

Mercell Suomi Oy

Osa Mercell-ryhmää, Euroopan johtavaa hankintapalvelujen sekä sähköisen kilpailutusjärjestelman tuottajaa.

Yleistä hankinnoista

Hankintalaki
TED

Yhteydenotto

Klikkaa tästä asiakaspalveluun

+358 207 528 600