Et brukervennlig skanning elektronmikroskop (SEM) for undersøkelser av isolatorer, halvledere og metaller – typisk halvledende metalloksider med energi dispersiv røntgen spektroskopi (EDS) og katodeluminiescens spektroskopi (CLS). Mikroskopet vil stå i et «rent-rom» laboratorium med ISO 4 klassifisering. Opsjon på ionestråle poleringsutstyr for preparering av prøver til SEM.